販売・買取中古装置、部品
中古装置 |
部品 |
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熱処理 (拡散炉,LPCVD,RTP,酸化炉,アニール) | |
ポンプ |
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薄膜形成 (CVD,PVD,ALD,蒸着,エピタキシャル) | |
オーブン |
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フォトリソ (ステッパー/スキャナー,コーター・デベロッパー) | |
検査評価装置(外観検査,異物検査,SEM,膜厚計) |
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エッチング (ドライエッチャー,アッシャー) | |
電源 |
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洗浄装置 (ウェットエッチング,スクラブ,クリーナー) | |
光学機器 |
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CMP | |
モーター&ドライバー |
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PLC |
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その他装置 | |
パソコン&モニター |
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